Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik.- Werkstoffe der Mikromechanik.- Reinraumtechnik.- Technologie der Mikromechanik.- Meßmethoden.- Anwendungen der Mikromechanik.- Mikrosystemtechnik.
Inhaltsverzeichnis
Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik.- Werkstoffe der Mikromechanik.- Reinraumtechnik.- Technologie der Mikromechanik.- Meßmethoden.- Anwendungen der Mikromechanik.- Mikrosystemtechnik.
Klappentext
Universität Stuttgart für Stu denten der Fakultät Konstruktions-und Fertigungstechnik halte.
